Турбомолекулярные насосы принцип работы, конструкция

Турбомолекулярные насосы — конструкция, принцип работы

Общие сведения о турбомолекулярных насосах

10 -8 — 10 -10 Торр).

Турбомолекулярные насосы можно подразделить на группы по типу подвеса ротора:
— с классическим подвесом ротора: ротор вращается в двух механических подшипниках качения (в современных насосах необслуживаемых керамических с консистентной смазкой) — верхнем и нижнем. Замена подшипника в таких насосах достаточно сложный процесс, сопряженный с необходимостью балансировки ротора (рекомендуется делать в условиях завода-изготовителя);
— с гибридным подвесом ротора: в таких насосах нижний подшипник — механический, верхний — магнитный (т.е. ротор не имеет механической связи со статором). Нижний подшипник, находящийся на атмосферной стороне, можно заменить, не отправляя насос на завод-изготовитель;
— с магнитным подвесом ротора: оба подшипника — магнитные. Механические подшипники тоже присутствуют, но используются как аварийные, при сильных одиночных колебаниях ротора и при отключении электроэнергии). Таким образом, в современных турбомолекулярных насосах в зависимости от конструкции смазка отсутствует или ее присутствие практически не влияет на состав остаточной атмосферы в вакуумной системе. Турбомолекулярные насосы старой конструкции (такие еще есть на рынке) могут служить источником незначительного количества паров масла в вакуумной системе.

Каждый электрик должен знать:  Треск из распределительной коробки - в чем причина

Ротор небольших турбомолекулярных насосов вращается со скоростью 80000 — 90000 оборотов в минуту, больших — 40000-50000 об/мин.

Достоинства и недостатки туромолекулярных насосов

Недостатки:
— попадание воздуха в турбомолекулярный насос, ротор которого вращается с номинальной скоростью, может привести к разрушению ротора, а иногда и корпуса насоса;
— сложность обслуживания турбомолекулярных насосов с классическим подвесом ротора (замена подшипников);
— откачиваемая среда не должна содержать механических частиц;
— максимальная быстрота откачки турбомолекулярных насосов в стандартном исполнении не превышает 4000-5000 л/с.

Каждый электрик должен знать:  Условия правильного выбора и применения АД

Достоинства:
— безмасляная откачка;
— хорошо выдерживают высокую газовую нагрузку;
— простота эксплуатации, комфортны в работе;
— очень низкий уровень шума и вибраций;
— компактные размеры и вес;
— есть исполнения для откачки агрессивных сред

Добавить комментарий